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氮化钽
CAS号：12033-62-4 分子式：TaN
MDL：MFCD00049568
详情介绍
别名
一氮化钽
一氮化钽
英文别名
DTXSID6065183|Tantalum nitride (TaN)|Tantalum mononitride|Tantalum nitride|azanylidynetantalum|EINECS 234-788-4|Q415489|MFCD00049568|FT-0695184|tantalum(III) nitride规格或纯度
99.5% metals basis英文名称
Tantalum nitride运输条件
常规运输产品介绍
钽的氮化物，以1:1结构为主。氮化钽用于在铜或其他导电金属和介电绝缘体薄膜(如热氧化物)之间形成屏障或“胶”层。在集成电路的制造过程中，这些薄膜沉积在硅晶片的顶部，以制造薄膜表面贴装电阻，并具有其他电子应用。
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